对于石英，是用金刚石刀片切出来的，需要精密加工设备。加工时边磨石英，边在线检测刀片的磨损情况，边修刀片，所以设备非常昂贵。我在日本时见过这样的设备，国内好像还没有厂家生产。石英V groove生产量不大，如果芯数太多，可能还有机械累计误差，正好适合批量小、芯数少的情况，因此市场上多为石英。

对于硅，是用微电子中的核心技术——光刻工艺，加上独有的各向异性腐蚀技术制作的。这里利用了单晶硅沿特定原子晶面解理的性能，所以只能做硅，不能做石英玻璃。微电子工艺的好处是适合大批量、低价格、快速生产。而且用光刻工艺与图像的复杂程度无关，多少芯都一样，一次光刻、腐蚀，没有累积机械误差的问题。只是目前市场的需求量还不大，这种技术的优势还没有充分发挥。

做硅的单台设备虽没有做石英的设备一次性投资大，但数量多，像光刻机、腐蚀机、热氧化炉、低压化学气相沉积炉、离子刻蚀机等加起来，投资额也很大，而且要求超净环境、超纯水、恒温等条件，维护费用不小，因此做大批量时很划算，因为可以摊销，但小批量时可能就与石英相差不多了。

我也专门调查过做v槽的方式
机械方式加工的基本过程如下：
1、研磨设备（保证加工面的粗糙度和平面度，国内就有）
2、研磨出L型的台阶
3、精密切割设备实现V槽的切割（可以是Si或SiO2，反正都是最难机械加工的材料）

材料：4'' 6''或8''的Si或SiO2片

最贵的设备当属切割机(也能加工台阶)，大概在150万人民币左右（根据精度和厂家不同，价格有差异），但是主要提供设备的都是日本鬼子的东西（鄙视日本人）。

刻蚀法做V槽
如楼上朋友说的一样，利用Si自身的特新，完全采用半导体工艺来实现。

但是只要采购到的价格合理，不建议每个厂家都来自己做V槽，这样最终只能是日本人最高兴。

千万不要以为我是托，我只是提供一些信息给大家分享。

我们公司就事切出来的啊，

Quote:

引用第11楼zengyinhui于2008-07-29 15:12发表的  :
請問誰知道確切的加工方法？？我現在很需要這方面的內容!!具體是什麼方法!非常感謝大家

我可以提供技术支持

Quote:

引用第73楼hvi731于2009-08-19 17:36发表的  :
我也专门调查过做v槽的方式
机械方式加工的基本过程如下：
1、研磨设备（保证加工面的粗糙度和平面度，国内就有）
2、研磨出L型的台阶
3、精密切割设备实现V槽的切割（可以是Si或SiO2，反正都是最难机械加工的材料）
.......

其实切割VG没太多技术含量
听说以色列的切割设备精度更高

都在吹水啊！
我来吹吹

腐蚀

目前国应该均为机械加工的方式（四川飞扬为蚀刻）
日本估计也差不多为这种方式，现有很多家V槽切割的设备均为日本进口来的