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MEMS光开关
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MEMS光开关
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MEMS 光开关
本公司以2DMEMS光开关为研究方向,开展了新型MEMS工艺加工技术研究、机械结构设计研究、光耦合技术研究。设计实现了一种新型的体硅微机械加工工艺,并在工艺实验的基础上,通过ANSYS软件,利用有限元分析方法,优化设计了几种具有大位移、低电压驱动特性的1×2、2×22DMEMS光开关结构单元,完成了一种新型的1×2和一种2×2 2DMEMS光开关设计加工,对其机电特性和光纤耦合特性进行了测试。其中2×2静电梳齿电容驱动2DMEMS光开关具有在驱动电压22V作用下,驱动位移>50μm,开关时间小于1.5ms的良好机电性能;1×2静电梳齿电容驱动2DMEMS光开关在采用直接切割光纤光耦合方式下,具有在驱动电压38V作用下,开关时间小于1ms、最大插损小于2.5dB、隔离度<-50dB的综合光开关性能指标。
www.cofiber.net
Posted: 2012-03-08 16:37 |
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